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多晶硅石英坩埚的性能直接影响单晶硅的成晶率

发布时间：2021-11-21人气：86

多晶硅石英坩埚的性能直接影响单晶硅的成晶率，当多晶硅石英坩埚的表面产生失透时石英结晶片就会脱落，并黏着到单晶硅上从而降低单晶硅的成晶率。要使多晶硅石英坩埚不易产生失透变形，必须具有以下两个特点：1）少气泡化2）内表面纯化

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